جميع المواد المقاومة التي رفعت كفاءة أدائها للاستعمال في تكنولوجيات التصوير السطحي، بما في ذلك المواد المقاومة الخاضعة لعملية السليلة silylation. 优化用于表面成像技术的所有抗蚀剂，包括甲硅烷基化的抗蚀剂。
تعرّف تقنيات السليلة silylation بأنها عمليات تنطوي على أكسدة سطح المادة المقاومة لتحسين الأداء لأغراض التظهير المبلل والجاف. 甲硅烷基化技术被定义为利用抗蚀剂表面的氧化作用加强湿式和干式显影性能的过程。
ومن الممكن الكشف نوعيا عن سلائف ونواتج تحلل هذه العوامل (وعدة آلاف أخرى من المركبات) إما بالحقن المباشر للمستخلصات أو عن طريق الاشتقاق باستخدام مركبات سيلكونية. 这些试剂（以及数以千计的其他化合物）的先质和降解产物，可以通过直接注入提取物或用甲硅烷基化合物衍生法作定性检测。
جوال إصدار